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更新時(shí)間： 2025-01-14
產(chǎn)品型號(hào)： CVD
產(chǎn)品報(bào)價(jià)： 
所 在 地： 合肥市新站區(qū)穎河路22號(hào)
產(chǎn)品特點(diǎn)： 化學(xué)氣相沉積設(shè)備CVD1200C-II-SL 200D50-5Z 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫；PLC控制5路質(zhì)子流量器，能夠精確控制系統(tǒng)的供氣；真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。CVD（化學(xué)氣象沉積系統(tǒng)）常用于表面材料生長(zhǎng)、沉積，是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備技術(shù)參數(shù)
化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)參數(shù)
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雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z | 爐體結(jié)構(gòu) | 該化學(xué)氣相沉積設(shè)備采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使其爐體表面溫度都小于55℃ 爐底安裝一對(duì)滑軌，可手動(dòng)滑動(dòng)，以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。 |
| 爐管尺寸 | Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。) | |
| 功率 | 5kW | |
| 輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | |
| 加熱元件 | Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金） | |
| zui高溫度 | zui高溫度：1200℃ 額定溫度：1100℃ | |
| 升溫速率 | ≦10℃/min（推薦） | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度度 | 化學(xué)氣相沉積設(shè)備兩個(gè)加熱區(qū)的長(zhǎng)度都是200mm 分別由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 | |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng) | 100+100mm（±1℃） 可獲得較長(zhǎng)恒溫區(qū)間 | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 快速連接法蘭 | Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭 打開(kāi)法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便 | |
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五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng) MFC-5Z
| 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
| 針閥材質(zhì) | 316不銹鋼 | |
| 量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇） | |
| 工作溫度 | 5～45℃ | |
| 外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
| 電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
| 功率 | 23W | |
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真空系統(tǒng) LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
| zui大承載量 | 1000 Lbs | |
| 抽氣速率 | 10m³/h 極限真空度：10-1Pa 雙層立式油污過(guò)濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接 | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件 | |
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使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） | |
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