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名稱	規(guī)格	小型滑軌式管式爐CVD系統(tǒng) CVD1200C 230D50 3ZLV
開啟式真空管式滑軌爐	爐管尺寸	Φ50×1200mm 更多其他規(guī)格石英管可選（Φ25/60mm等）
	主要參數(shù)	高溫度: 1200℃(使用時必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變) 工作溫度: ≤1100℃ 推薦升溫速率:≤20℃/min 加熱區(qū)長度:230mm 額定功率：2KW 電壓：單相AC 208 - 240V, 50Hz
	爐體結(jié)構(gòu)	雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層，大限度節(jié)約能源爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命
	溫控系統(tǒng)	模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能智能化30段可編程控制具有超溫及斷偶報警功能控溫精度: ±1 ℃ K型熱電偶可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集（需另購）
	溫控儀表（可選）	標(biāo)配儀表品牌為宇電，可其他品牌溫控儀表，如島電等。
	管堵	多種規(guī)格管堵，防止來自內(nèi)部管子的熱輻射，管堵在加熱前必須*放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實驗環(huán)境或者較高真空需求
	密封系統(tǒng)	爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。（包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭）如需獲得較高的真空度，建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計（需另外訂購）備注：本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進氣端Φ6卡套接口，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。出氣端預(yù)留KF25接口，方便連接真空泵，KF16接口，方便連接數(shù)顯真空計，以及Φ9氣嘴接頭，以便出氣
	擴展端口	如進氣管道為橡膠軟管，則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭
	真空度	雙極旋片機械泵：10^-1Pa 分子泵機組：10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空
	外形尺寸	650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)
	凈重	40Kg
2路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) MFC-2Z	電壓	220VAC 單相 50/60Hz
	針閥材質(zhì)	316不銹鋼
	量程	100sccm、200sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇）
	工作溫度	5～45℃
	外型尺寸	600(L) x 600(W) x 750(H) mm
	電壓	AC220V/50Hz單相
	功率	23W
真空系統(tǒng) LVU-10	殼體尺寸	600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm
	大承載量	1000 Lbs
	抽氣速率	10m³/h 極限真空度：10^-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接
質(zhì)保期		一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
相關(guān)應(yīng)用		爐膛內(nèi)襯可以單獨更換（額外付費）可以根據(jù)要求設(shè)計成帶有滑動法蘭的爐子
應(yīng)用注意事項		爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

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